Фэндом



<<Назад в Nanolab


ОписаниеПравить

Ниже приведен список оборудования НТК Наноэлекроники по категориям. Пользователи должны пройти обучение работе с оборудованием и получить допуск.

Химические методы осаждения (англ. Chemical vapor deposition или CVD)Править

Плазмохимическое осаждение с источником индуктивно связанной плазмы ПХО с ИСП (англ. Inductively coupled plasma plasma enhanced chemical vapor deposition или ICP-PECVD)


Осаждение биосовместимых материаловПравить


atomic layer depositionПравить

Физические методы осаждения Physical Vapor Deposition (PVD)Править

Термическое испарениеПравить

Испарение электронным лучомПравить

Магнетронное распылениеПравить

Лазерное распылениеПравить

Молекулярно лучевая эпитаксияПравить

ЛитографияПравить

ФотолитографияПравить

Литография электронным пучкомПравить

Литография лазерным лучомПравить

СтепперПравить

Нанесение, сушка, проявка и задубливание фоторезиста Править

Сухое травление (Dry Etching)Править

Плазменное травление Править

  • Реактивное ионное травление или РИТ (англ. reactive-ion etching - RIE)
  • Плазмохимическое травление или ПХТ (англ. Plasma Etch или PE)
  • Реактивное Ионное Травление с Источником Индуктивно Связанной Плазмы (англ. Inductively Coupled Plasma Etch, Reactive Ion Etching with Inductive Plasma, или ICP Etch, RIE/ICP)


Плазменное удаление резиста (англ. Plasma Ashing)Править

Xetch X3M XACTIXПравить

Термические процессыПравить

Допирование/диффузияПравить

ОксидированниеПравить

Быстрый термический отжигПравить

Прямое сращивание подложек (Wafer Bonding)Править

Электрохимическая металлизацияПравить

Полировка и утонениеПравить

Метрология и инспекцияПравить

FEI Quanta 200 3D DualBeam™ Краткое описание на англ.(Файл:1296508601271.pdf)

Тестирование и измерение электрических параметровПравить

УпаковкаПравить


"Мокрые" процессыПравить

Станции травления/Вытяжные шкафыПравить


СушкаПравить

Обнаружено использование расширения AdBlock.


Викия — это свободный ресурс, который существует и развивается за счёт рекламы. Для блокирующих рекламу пользователей мы предоставляем модифицированную версию сайта.

Викия не будет доступна для последующих модификаций. Если вы желаете продолжать работать со страницей, то, пожалуйста, отключите расширение для блокировки рекламы.

Также на Фэндоме

Случайная вики