Фэндом


Nanolab-> Список оборудования по категориям

ОписаниеПравить

Установка обеспечивает:
- работу с 6 (150 мм) пластинами;
- измерения в режиме постоянного тока и сверхвысоких частот, проведение испытаний характеристик электронных подложек и систем, анализ неисправностей, субмикронный зондовый контроль, МЭМС и оптоэлектронные технические испытания;
- использование до 20 измерительных головок.

Установка содержит:
- магнитные полукольца ВЧ;
- 150-мм ВЧ-держатель дляластин;
- привод микроскопа ручной
150х100 мм;
- пневматический подъем микроскопа;
- стереомикроскоп с подсветкой в сборе;
- два манипулятора с магнитными адаптерами, ВЧ-
руками и ВЧ-кабелями 1,2 метра;
- две ВЧ-головки;
- калибровочную пластину;
- калибровочное ПО;
- два манипулятора с магнитными адаптерами, DC-руками и кабелями с BNC-разъемом 1,5 метра;
- коробка зондовых игл 7 микрон (вольфрам, 25 штук);
- безмаслянный вакуумный насос;
- антивибрационный стол;
- цветная камеру с монитором 19”;
- Сетевой анализатор с частотой до 67 ГГц.


Размер пластины/подложки: диаметр до 150 мм.
Трехкоординатный столик: Плоскостность на 150 мм: менее 10 мкм.
Разрешение: 5 мкм.
Диапазон передвижения: 155 мм х 155 мм.
Ход нагрузки: ось Y, 90 мм.
Диапазон настройки высоты: ось Z, 10 мм.
Держатель:
Плоскостность: 3 мм.
Вертикальная жесткость на 150 мм: менее 15 мкм / 10 Н.
Типы крепления: вакуумный, магнитный
Габариты (без сетевого анализатора):490х490х480 мм.
Вес (без сетевого анализатора):60 кг.

СсылкиПравить

Cascade Microtech PM5 описпание на сайте производителя

Google о Cascade Microtech PM5

Обнаружено использование расширения AdBlock.


Викия — это свободный ресурс, который существует и развивается за счёт рекламы. Для блокирующих рекламу пользователей мы предоставляем модифицированную версию сайта.

Викия не будет доступна для последующих модификаций. Если вы желаете продолжать работать со страницей, то, пожалуйста, отключите расширение для блокировки рекламы.

Также на Фэндоме

Случайная вики