Nanolab-> Список оборудования по категориям
Описание[]
Установка обеспечивает:
- работу с 6 (150 мм) пластинами;
- измерения в режиме постоянного тока и сверхвысоких частот, проведение испытаний характеристик электронных подложек и систем, анализ неисправностей, субмикронный зондовый контроль, МЭМС и оптоэлектронные технические испытания;
- использование до 20 измерительных головок.
Установка содержит:
- магнитные полукольца ВЧ;
- 150-мм ВЧ-держатель дляластин;
- привод микроскопа ручной
150х100 мм;
- пневматический подъем микроскопа;
- стереомикроскоп с подсветкой в сборе;
- два манипулятора с магнитными адаптерами, ВЧ-
руками и ВЧ-кабелями 1,2 метра;
- две ВЧ-головки;
- калибровочную пластину;
- калибровочное ПО;
- два манипулятора с магнитными адаптерами, DC-руками и кабелями с BNC-разъемом 1,5 метра;
- коробка зондовых игл 7 микрон (вольфрам, 25 штук);
- безмаслянный вакуумный насос;
- антивибрационный стол;
- цветная камеру с монитором 19”;
- Сетевой анализатор с частотой до 67 ГГц.
Размер пластины/подложки: диаметр до 150 мм.
Трехкоординатный столик: Плоскостность на 150 мм: менее 10 мкм.
Разрешение: 5 мкм.
Диапазон передвижения: 155 мм х 155 мм.
Ход нагрузки: ось Y, 90 мм.
Диапазон настройки высоты: ось Z, 10 мм.
Держатель:
Плоскостность: 3 мм.
Вертикальная жесткость на 150 мм: менее 15 мкм / 10 Н.
Типы крепления: вакуумный, магнитный
Габариты (без сетевого анализатора):490х490х480 мм.
Вес (без сетевого анализатора):60 кг.