ФЭНДОМ


Nanolab-> Список оборудования по категориям

ОписаниеПравить

Установка для инспекции микро- нано-электронных, микрофлюидных и МЭМС систем оптическими методами предназначена для проведения структурных исследований наноэлектронных, МЭМС и микрофлюидных систем на различных стадиях процесса их получения.

Установка представляет собой универсальный прямой микроскоп для исследований полупроводниковых пластин.
Штатив, основание, тубус и элементы управления микроскопа должны быть покрыты специальным составом, который обеспечивает электростатическое разряжение для предотвращения электростатических разрядов и адгезии посторонних частиц к микроскопу. Электромотор револьверной головки должен быть дополнительно защищен от попадания внутрь частиц пыли и предотвращать любую возможность попадания посторонних частиц из его механизма на исследуемый объект.
Установка должна обеспечивать:
•одновременное наблюдение объекта в окулярах и на мониторе системы фото-видео документирования;

•поле зрения 25мм за счет ультра-широкопольной конструкции окуляров;

•установку до 6 объективов;

•защиту глаз оператора при смене объективов за счет механизма антивыспышки;

•методы контраста: светлое поле, темное поле, фазовый контраст, поляризованный свет, флуоресценция, ДИК ( дифференциальный интерференционный контраст ) Номарского;

•соответствие стандартам SEMI S2-93A, S8-95, CE, UL.

СсылкиПравить

Nikon L200ND на сайте Nikon Rus

Nikon L200ND на сайте Nikon (англ.)

Google о Nikon L200ND