ФЭНДОМ


Nanolab-> Список оборудования по категориям

ОписаниеПравить

Многоцелевой комплекс магнетронного осаждения металлов, сплавов и диэлектриков предназначен для высокоточного нанесения тонких пленок различных материалов на подложки различного происхождения диаметром до 6” (150 мм) в ВЧ-разряде, разряде постоянного тока или импульсном режиме.

Комплекс должен обеспечивать:

• магнетронное осаждения металлов в ВЧ-разряде, разряде постоянного тока или импульсное магнетронное распыление на подложки различного происхождения;

• нанесение равномерных однородных металлических, диэлектрических покрытий и сложных по составу многослойных покрытий с диапазоном толщин от единиц до сотен нм на поверхность подложек диаметром 6” (150 мм) или рельефных образцов;

• очистку поверхности подложек аргоном перед осаждением покрытий;

• автоматические режимы нанесения многослойных покрытий;

• контроль толщины покрытий в процессе осаждения;

• одновременное использование нескольких источников;

• возможность осаждения следующих материалов:

Металлы и сплавы: Ag, Al, Al-1%Si, Au, Co, Co/Fe/B 72/18/10 wt%, Cr, Cu, Fe, Gd, Mo, Nb, Ni/Fe 81/19 wt%, Pd, Permalloy (Ni/Fe/Mo/Mn 79/16.7/4/0.3 wt%), Pt, Ta, Ti, V, W, W/Ti 90/10 wt% ;

Полупроводники: Ge (нелегированный), Si-n, Si-p, Si (нелегированный);

Оксиды, нитриды, сарбиды: Al2O3, ITO, Li3PO4, LiCoO2, MgO, Si3N4, SiC, SiO2, Ta2O5, TiN, TiO2, WC, ZnO, ZrO2 (with 12 wt% Y2O3) .

СсылкиПравить

TORR MagSput™

Обнаружено использование расширения AdBlock.


Викия — это свободный ресурс, который существует и развивается за счёт рекламы. Для блокирующих рекламу пользователей мы предоставляем модифицированную версию сайта.

Викия не будет доступна для последующих модификаций. Если вы желаете продолжать работать со страницей, то, пожалуйста, отключите расширение для блокировки рекламы.

Также на ФЭНДОМЕ

Случайная вики