ФЭНДОМ


<<Назад в Nanolab

<<Назад в Список оборудования по категориям

ОписаниеПравить

Система микроволнового удаления резиста TRION APPOLO (Stripper)

Компактная, недорогая и универсальная система, позволяющая проводить процессы с 100-300 мм подложками, разработанная специально для удовлетворения потребностей современного производства. Использование ICP, микроволн и RF bias, позволяет удалить слои резиста при низких температурах. Система может комплектоваться микроволновым источником SST-Lightning, или ICP. MEMS, полупроводниковые компаунды, мелкосерийное производство.

СтатусПравить

ждем поставки...


Основные характеристикиПравить

  • Скорость травления 6um/мин
  • 100 – 300мм подложки
  • Высокая производительность
  • Малая занимаемая площадь
  • Низкие повреждения
  • Конкурентоспособная цена
  • Автонастройка

Меры безопасности при работеПравить

Меры безопасности при работе приведены в руководстве по эксплуатации Файл:Manual-APOIII Ver2.pdf

Типовые примеры использования/ Стандартные процессыПравить

СсылкиПравить

Система микроволнового удаления резиста (Stripper)

Обнаружено использование расширения AdBlock.


Викия — это свободный ресурс, который существует и развивается за счёт рекламы. Для блокирующих рекламу пользователей мы предоставляем модифицированную версию сайта.

Викия не будет доступна для последующих модификаций. Если вы желаете продолжать работать со страницей, то, пожалуйста, отключите расширение для блокировки рекламы.

Также на ФЭНДОМЕ

Случайная вики