ФЭНДОМ


<<Назад в Nanolab

<<Назад в Список оборудования по категориям

ОписаниеПравить

Система микроволнового удаления резиста TRION APPOLO (Stripper)

Компактная, недорогая и универсальная система, позволяющая проводить процессы с 100-300 мм подложками, разработанная специально для удовлетворения потребностей современного производства. Использование ICP, микроволн и RF bias, позволяет удалить слои резиста при низких температурах. Система может комплектоваться микроволновым источником SST-Lightning, или ICP. MEMS, полупроводниковые компаунды, мелкосерийное производство.

СтатусПравить

ждем поставки...


Основные характеристикиПравить

  • Скорость травления 6um/мин
  • 100 – 300мм подложки
  • Высокая производительность
  • Малая занимаемая площадь
  • Низкие повреждения
  • Конкурентоспособная цена
  • Автонастройка

Меры безопасности при работеПравить

Меры безопасности при работе приведены в руководстве по эксплуатации Файл:Manual-APOIII Ver2.pdf

Типовые примеры использования/ Стандартные процессыПравить

СсылкиПравить

Система микроволнового удаления резиста (Stripper)