ФЭНДОМ


Nanolab-> Список оборудования по категориям

ОписаниеПравить

Установка для нанесения и термического задубливания предназначена для нанесения тонких слоев резистов и полимеров из растворов в ручном и автоматическом режимах и их последующего термического задубливания. Установка должна иметь исполнение в едином корпусе из нержавеющей стали и иметь два встроенных модуля: модуль нанесения (центрифугу) и модуль задубливания (термостолик). Управление установкой должно осуществляться при помощи микропроцессорной системы и обеспечивать одновременную работу модулей.

Модуль нанесения должнен обеспечивать:

• возможность нанесения слоев резистов и полимеров из растворов;

• использование как в полностью ручном режиме для исследовательских работ, так и в автоматическом;

• легкую замену подложки без использования специальных приспособлений;

• обрабатывать подложки до 150 мм диаметром;

• скорость вращения 0-12000 об/мин +/-1%;

• увеличение скорости вращения - до 30000 об/мин/с ;

• возможность вращения в обе стороны.

Модуль задубливания должен обеспечивать:

• возможность сушки и задубливания слоя резиста на поверхности подложек методом нагрева;

• автоматическое изменение размера зоны прогрева для стандартных размеров подложек; • возможность нагрева подложек до температуры 300º С;

• точность поддержания температуры не хуже 0,60 С при 1000 С;

• цифровой контроль заданной и измеренной температуры;

• возможность выравнивания столика по уровню;

• возможность вакуумного прижима подложек.

СсылкиПравить

The Brewer Science Cee 200CBX Руководство по эксплуатации (англ.)

The Brewer Science Cee 200CBX Описание на сайте производителя (англ.)