ФЭНДОМ


Nanolab-> Список оборудования по категориям

ОписаниеПравить

Установка для нанесения и термического задубливания предназначена для нанесения тонких слоев резистов и полимеров из растворов в ручном и автоматическом режимах и их последующего термического задубливания. Установка должна иметь исполнение в едином корпусе из нержавеющей стали и иметь два встроенных модуля: модуль нанесения (центрифугу) и модуль задубливания (термостолик). Управление установкой должно осуществляться при помощи микропроцессорной системы и обеспечивать одновременную работу модулей.

Модуль нанесения должнен обеспечивать:

• возможность нанесения слоев резистов и полимеров из растворов;

• использование как в полностью ручном режиме для исследовательских работ, так и в автоматическом;

• легкую замену подложки без использования специальных приспособлений;

• обрабатывать подложки до 150 мм диаметром;

• скорость вращения 0-12000 об/мин +/-1%;

• увеличение скорости вращения - до 30000 об/мин/с ;

• возможность вращения в обе стороны.

Модуль задубливания должен обеспечивать:

• возможность сушки и задубливания слоя резиста на поверхности подложек методом нагрева;

• автоматическое изменение размера зоны прогрева для стандартных размеров подложек; • возможность нагрева подложек до температуры 300º С;

• точность поддержания температуры не хуже 0,60 С при 1000 С;

• цифровой контроль заданной и измеренной температуры;

• возможность выравнивания столика по уровню;

• возможность вакуумного прижима подложек.

СсылкиПравить

The Brewer Science Cee 200CBX Руководство по эксплуатации (англ.)

The Brewer Science Cee 200CBX Описание на сайте производителя (англ.)

Обнаружено использование расширения AdBlock.


Викия — это свободный ресурс, который существует и развивается за счёт рекламы. Для блокирующих рекламу пользователей мы предоставляем модифицированную версию сайта.

Викия не будет доступна для последующих модификаций. Если вы желаете продолжать работать со страницей, то, пожалуйста, отключите расширение для блокировки рекламы.

Также на ФЭНДОМЕ

Случайная вики