Фэндом


Nanolab-> Список оборудования по категориям

ОписаниеПравить

Установка для проявления, смыва и задубливания фоторезисторов предназначена для проявления фоторезистов после их облучения в литографических установках, смыва проявленного фоторезиста и дополнительной термической обработки (задубливания) с целью улучшения физических и химических свойств резистов для последующих процессов. Установка должна иметь исполнение в едином корпусе из нержавеющей стали и иметь два встроенных модуля: модуль проявления и смыва и модуль задубливания. Управление установкой должно осуществляться при помощи микропроцессорной системы и обеспечивать одновременную работу модулей. Модуль проявления и смыва должен обеспечивать:

• возможность нанесения проявителей и деионизованной воды из баллонов высокого давления емкостью до 3,84 л;

• четыре независимых инжектора проявителей и деионизованной воды;

• использование как в полностью ручном режиме для исследовательских работ, так и в автоматическом;

• легкую замену подложки без использования специальных приспособлений;

• обработку подложки до 150 мм диаметром;

• скорость вращения 0-12000 об/мин +/-1%;

• увеличение скорости вращения - до 30000 об/мин/с ;

• возможность вращения в обе стороны. Модуль задубливания должен обеспечивать:

• возможность сушки и задубливания слоя резиста на поверхности подложек методом нагрева;

• автоматическое изменение размера зоны прогрева для стандартных размеров подложек;

• возможность нагрева подложек до температуры 300º С;

• точность задания температуры не хуже +/-0.1 град С;

• точность поддержания температуры не хуже +/-0.3% на рабочей поверхности;

• цифровой контроль заданной и измеренной температуры;

• возможность выравнивания столика по уровню;

• возможность вакуумного прижима подложек.

СсылкиПравить

The Brewer Science Cee 200DBX Описание на сайте производителя (англ.)

The Brewer Science Cee 200DBX на сайте Химмед

Обнаружено использование расширения AdBlock.


Викия — это свободный ресурс, который существует и развивается за счёт рекламы. Для блокирующих рекламу пользователей мы предоставляем модифицированную версию сайта.

Викия не будет доступна для последующих модификаций. Если вы желаете продолжать работать со страницей, то, пожалуйста, отключите расширение для блокировки рекламы.

Также на Фэндоме

Случайная вики